9月21日，大河報(bào)·豫視頻推出“探秘‘獨(dú)角獸’”系列策劃首篇報(bào)道后，引發(fā)不少市民對“獨(dú)角獸”企業(yè)的興趣和關(guān)注。半導(dǎo)體一直是我國的“卡脖子”技術(shù)，而鄭州有一家準(zhǔn)“獨(dú)角獸”企業(yè)，攻克了微電子芯片用高端靶材等關(guān)鍵材料及核心設(shè)備中多項(xiàng)國產(chǎn)化技術(shù)難點(diǎn)，產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化量產(chǎn)，開展國產(chǎn)化替代，極大地填補(bǔ)了國內(nèi)市場空白。就在近日，鄭州市市長何雄專門會(huì)見了該企業(yè)掌門人，對有關(guān)項(xiàng)目合作事宜進(jìn)行深入交流。這家企業(yè)能否成長為“獨(dú)角獸”企業(yè)?它的產(chǎn)品對我們的生活又會(huì)帶來哪些影響?

靶材是芯片制作工藝?yán)锊豢苫蛉钡牟牧?/p>

老百姓常說的芯片，其實(shí)是半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的統(tǒng)稱，是集成電路通過設(shè)計(jì)、制造、封裝、測試后形成的獨(dú)立載體，在我們?nèi)粘Ｉ钪袘?yīng)用十分廣泛，小到身份證、銀行卡、手機(jī)、電腦，大到飛機(jī)、航母、衛(wèi)星都離不開它。

而在芯片制作工藝?yán)?，靶材作為其中不可或缺的材料，起著至關(guān)重要的作用，其在芯片上充當(dāng)傳遞信息的金屬導(dǎo)線，直徑為納米級別，將芯片內(nèi)部數(shù)百億個(gè)微型晶體管連接起來。然而就是這樣一種關(guān)鍵原材料，目前國產(chǎn)化率不足10%。

而鄭州這家攻克微電子芯片用高端靶材等關(guān)鍵材料及核心設(shè)備中多項(xiàng)國產(chǎn)化技術(shù)難點(diǎn)的企業(yè)，就是位于航空港區(qū)的河南東微電子材料有限公司。該公司CEO趙澤良告訴大河報(bào)記者，隨著5G、人工智能、新能源汽車、云計(jì)算等應(yīng)用領(lǐng)域快速發(fā)展，對芯片需求不斷提升，半導(dǎo)體產(chǎn)能持續(xù)緊張，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也已上升至國家戰(zhàn)略的高度，成為我國信息產(chǎn)業(yè)和網(wǎng)絡(luò)安全最核心的事情。該公司做的正是對微電子芯片用的靶材、零部件和設(shè)備進(jìn)行研發(fā)、生產(chǎn)、銷售。“芯片用的靶材是一種高附加值的特種電子材料，行業(yè)壁壘較高。其他國家從中國購買原礦材料加工后，往往再以千倍價(jià)格賣給中國企業(yè)，中國科技的發(fā)展很容易被對方‘卡脖子’。”

致力于為我國解決半導(dǎo)體“卡脖子”難題

“比如你看的這個(gè)直線電機(jī)，利用它形成一個(gè)磁懸浮把硅片浮起來，硅片在沒有任何接觸的情況下通過去，并在上面進(jìn)行光刻，全程無接觸移動(dòng)，這個(gè)零件生產(chǎn)的技術(shù)在國內(nèi)來說算一個(gè)痛點(diǎn)，它是一個(gè)很尖端很精密的零部件，我們目前已經(jīng)研發(fā)并生產(chǎn)了出來。”趙澤良說。

據(jù)了解，2019年，國家發(fā)改委修訂發(fā)布《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年本)》，鼓勵(lì)發(fā)展高頻微波印制電路板、高速通信電路板、柔性電路板、高性能覆銅板等新型電子元器件。2021年工信部發(fā)布《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2021版)》，其中推薦發(fā)展超高純化學(xué)試劑、特種氣體、集成電路用光刻膠及其關(guān)鍵原材料和配套試劑等多種半導(dǎo)體材料。國家在政策方面引導(dǎo)和鼓勵(lì)半導(dǎo)體材料的發(fā)展，指明了半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)方向。

“這些耗材、設(shè)備零部件能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化，中國就能少用國外的資源，被制裁的可能性也就會(huì)減少。”趙澤良說，東微電子的目標(biāo)是為中國半導(dǎo)體解決“卡脖子”難題，并打造高端集成電路制造用材料和設(shè)備零部件一站式服務(wù)平臺(tái)。

目前，東微電子已攻克微電子芯片用高端靶材等關(guān)鍵材料及核心設(shè)備中多項(xiàng)國產(chǎn)化技術(shù)難點(diǎn)，產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化量產(chǎn)，并持續(xù)為中芯國際等客戶供貨，開展國產(chǎn)化替代，極大地填補(bǔ)了國內(nèi)市場空白。

5年成為準(zhǔn)“獨(dú)角獸”

8月底，鄭州市政府組織召開鄭州市“獨(dú)角獸”企業(yè)發(fā)布暨發(fā)展座談會(huì)，“獨(dú)角獸”成為鄭州企業(yè)界討論的熱點(diǎn)，除公布的致歐家居科技股份有限公司、超聚變數(shù)字技術(shù)有限公司2家“獨(dú)角獸”企業(yè)之外，河南東微電子材料有限公司、鄭州遠(yuǎn)度科技有限公司等榮膺鄭州準(zhǔn)“獨(dú)角獸”企業(yè)。

記者了解到，河南東微電子材料有限公司2018年落戶鄭州航空港實(shí)驗(yàn)區(qū)，成立以來得到多家知名投資公司青睞，已獲得多輪融資。目前在上海(金山)、北京(亦莊信創(chuàng)園)等地設(shè)立有研發(fā)生產(chǎn)基地，今年8月，通過了工信部國家級專精特新“小巨人”企業(yè)認(rèn)定。

人才儲(chǔ)備很重要

趙澤良說，豐富的人才儲(chǔ)備是東微電子快速發(fā)展的基石，其核心技術(shù)、管理團(tuán)隊(duì)均為海歸博士，不僅學(xué)歷高，更重要的是研發(fā)能力突出，在貿(mào)易戰(zhàn)、芯片戰(zhàn)中敢于攻堅(jiān)克難、敢于承擔(dān)奉獻(xiàn)。

據(jù)悉，東微電子董事長王永超有超過20年的微電子行業(yè)產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，在美國英特爾公司最核心的整合部門任職超過10年，擁有豐富的微電子材料、設(shè)備和工藝整合經(jīng)歷。作為CEO的趙澤良，碩士畢業(yè)于中國科學(xué)院金屬研究所，博士畢業(yè)于新加坡國立大學(xué)材料科學(xué)與工程系，海外工作期間，作為新加坡賀利氏公司Ru靶材制造項(xiàng)目全球工藝負(fù)責(zé)人，擁有多年磁控濺射靶材研發(fā)及制造技術(shù)經(jīng)驗(yàn)。

截至2022年4月，東微電子申請專利92件，其中發(fā)明專利14件，實(shí)用新型專利78件;其中已授權(quán)發(fā)明專利3件，已授權(quán)實(shí)用新型專利71件。在關(guān)鍵靶材方面，東微電子是MRAM靶材國內(nèi)唯一供貨商。同時(shí)，與中科院、清華大學(xué)、鄭州大學(xué)、廣東季華實(shí)驗(yàn)室等科研機(jī)構(gòu)、高校謀劃建立合作實(shí)驗(yàn)室。

公司發(fā)展速度超預(yù)期

趙澤良介紹，目前公司發(fā)展速度比預(yù)期更快，“一開始我們計(jì)劃2019年到2021年制造原材料，2022年到2025年開始供應(yīng)設(shè)備精密零部件，但在發(fā)展中，去年就步入第二階段，原計(jì)劃到2025年進(jìn)行的微電子生產(chǎn)設(shè)備也已提前在做”。

記者了解到，目前東微電子正在布局產(chǎn)業(yè)鏈，鄭州市是其總部，東微電子未來的發(fā)展也將對整個(gè)河南微電子行業(yè)起到帶動(dòng)作用。

趙澤良坦言，企業(yè)短短幾年在領(lǐng)域內(nèi)走到頭部，與良好的營商環(huán)境以及政府大力扶持是分不開的，不論是場地、招引高端人才，又或者是項(xiàng)目謀劃布局、洽談簽約、落地建設(shè)，都需要政府部門的扶持。下一步，東微電子也將集中力量加快項(xiàng)目建設(shè)，為鄭州國家中心城市現(xiàn)代化建設(shè)貢獻(xiàn)力量。(大河報(bào)·豫視頻記者 楊光 文圖)