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快科技 5 月 2 日消息，據俄羅斯媒體報道稱，為了推進自研光刻機進度，其已經敲定了相關的合作伙伴。

據悉，俄羅斯方面將為兩大白俄羅斯微電子領域項目提供約 100 億盧布信貸支持，受資助企業包括集成電路成套工藝領域的 Integral 和精密光刻設備領域的 Planar。

白俄羅斯方面還透露，已經簽署了關于建立兩國光掩模開發和生產聯合中心的協議。" 這將使我們能夠開展聯合開發工作并減少白俄羅斯和俄羅斯消費者對進口供應的依賴 "。

資料顯示，Planar 公司（KBTEM-OMO）是東歐最大的半導體設備供應商，已有 50 余年的半導體設備研發與制造歷史，其產品包括基于激光直寫的圖形發生器、掩模檢測設備、掩模修補設備、接近 / 接觸光刻機、投影光刻機與硅片檢測設備等。

在這之前，俄羅斯科學院發豪語 2028 年自行研發的光刻機將問世，可生產出 7nm 芯片。據報道，國際制裁對俄羅斯斷供后，造成俄國芯片短缺，加以美國、英國和歐盟也祭出多項制裁，幾乎所有擁有先進晶圓制造商都停止與俄羅斯實體合作，ARM 也無法將他們的技術授權給俄羅斯的芯片設計師。

俄羅斯大諾夫哥羅德策略發展機構發豪語，宣稱俄羅斯科學院旗下應用物理研究所將會跌破所有人眼鏡，在 2028 年開發出可以生產 7 納米芯片的光刻機，還可擊敗 ASML 同類產品。

俄羅斯科學院納米結構研究所副所長表示，全球光刻機領導者 ASML 近 20 年來一直致力于 EUV 曝光機，目標是讓世界頂尖半導體廠商保持極高的生產效率。

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