【資料圖】

石墨烯納米帶（GNR）是一種準(zhǔn)一維的石墨烯納米結(jié)構(gòu)，其具有超高載流能力（＞109 A/cm2），且熱穩(wěn)定性高，可以用作相變存儲(chǔ)器的加熱電極。

中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所宋志棠研究員與王浩敏研究員組成聯(lián)合研究團(tuán)隊(duì)首次采用GNR邊緣接觸制備出世界上最小尺寸的相變存儲(chǔ)單元器件。研究成果以“通過(guò)石墨烯納米帶邊界接觸實(shí)現(xiàn)相變存儲(chǔ)器編程功耗最小化（Minimizing the programming power of phase change memory by using graphene nanoribbon edge-contact）”為題，2022年7月18日在線發(fā)表于《先進(jìn)科學(xué)》（Advanced Science）期刊。論文鏈接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/advs.202202222。

聯(lián)合研究團(tuán)隊(duì)采用石墨烯邊界作為刀片電極來(lái)接觸相變材料，可以實(shí)現(xiàn)萬(wàn)次以上的循環(huán)壽命。當(dāng)GNR寬度降低至3 nm，其橫截面積為1 nm2，RESET電流降低為 0.9 μA，寫入能耗低至 ~53.7 fJ。該功耗比目前最先進(jìn)制程制備的單元器件低近兩個(gè)數(shù)量級(jí)，幾乎是由碳納米管裂縫（CNT-gap）保持的原最小功耗世界記錄的一半。與此同時(shí)，GNR不僅作為加熱電極還充當(dāng)半導(dǎo)體溝道材料，可在2.5 MHz 的時(shí)鐘頻率下實(shí)現(xiàn) D 型觸發(fā)器的時(shí)序邏輯功能。

這是國(guó)際上首次采用GNR邊緣接觸實(shí)現(xiàn)極限尺寸的高性能相變存儲(chǔ)單元，器件尺寸接近相變存儲(chǔ)技術(shù)的縮放極限，實(shí)現(xiàn)了超低功耗、高編程速度、出色的高/低電阻比并且展現(xiàn)出良好穩(wěn)定性/耐用性。該新型相變存儲(chǔ)單元的成功研制代表了 PCRAM 在低功耗下執(zhí)行邏輯運(yùn)算的巨大進(jìn)步，為未來(lái)內(nèi)存計(jì)算開辟了新的技術(shù)路徑。

中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所宋三年研究員和王秀君博士為論文共同第一作者，王浩敏研究員和宋志棠研究員為共同通訊作者。研究工作得到國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)、科技部國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃，中國(guó)科學(xué)院先導(dǎo)項(xiàng)目、上海市科委等的項(xiàng)目資助。

圖1. 采用GNR邊緣接觸制備出世界上最小尺寸的相變存儲(chǔ)單元器件（a）相變存儲(chǔ)單元結(jié)構(gòu)示意圖；（b）功耗與接觸面積的關(guān)系。

圖2. 器件循環(huán)壽命的偏壓極性依賴性。（a）測(cè)量設(shè)置示意圖；（b）~3 nm 寬 GNR 邊界電極相變存儲(chǔ)單元在不同電壓極性下的循環(huán)壽命。

圖3. 基于3nm寬GNR邊界電極的D型觸發(fā)器邏輯功能演示。(a) D型觸發(fā)器結(jié)構(gòu)示意圖；（b）器件處于高/低阻態(tài)下的轉(zhuǎn)移特性曲線；(c) 器件循環(huán)特性；(d) 基于GNR邊界接觸的相變存儲(chǔ)單元演示D型觸發(fā)器的邏輯時(shí)序。